株式会社 協真エンジニアリング

■特長

真空と加圧の両方に使用できるバルブです。通常真空用のバルブは大口径のため圧力に耐えられず、高圧用のバルブは小口径のため真空には適さず、両方に使用できるバルブがありませんでした。協真エンジニアリングでは真空と加圧両方に使用できるバルブを独自に開発し、真空と加圧が一つのチャンバでできる装置を可能にしました。